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从轧钢厂回来,于海棠还闷闷不乐,何雨柱也差不多,这次回去感慨良多。
“行了,别悲秋伤感了,我要去一趟实验室,你要去哪,我送你过去。”
“我回家……”于海棠歪着头,靠在后座椅上,看着窗外。
何雨柱叹了一口气,“去西直门……”
司机点头,踩油门走了。
把善感的于海棠送回去,何雨柱直接去了海淀实验室,也就是生产基地内,这里面积一点不比轧钢厂小。
大型工业园区差不多,三十多亩地,两次扩建。
开车来到无尘车间,找到了正在搞研发的倪光南。
他旁边十几个博士生助手记录光刻机数据。
何雨柱套了一身防护服,过去凑了凑,只见光刻机光源束照进投影物镜,下方和晶圆之间充满了水,光源通过水媒介,按线路图在晶片上光刻着。
何雨柱瞅半天,也瞅不出个所以然来。
等了会,见光刻机停下,倪光南拿着芯片,失望的摇了摇头,何雨柱连忙说道“倪院士,忙着呢。”
倪光南对他点了点头,又叹了口气:“唉,还是不行,浸没式这套理论没错,可这差在哪了。”
摇摇头,又瞅着这台光刻机沉思了起来。
这台光刻机就是他们自主研发的193纳米光刻机,名字叫t1。
而想要研发下一代,大家当时都没什么思路,因为国外现在也卡在这里十多年了,都毫无进展。
只有脚盆的佳能跟尼康通过拉短光源,强行从193纳米缩短到157纳米。
这样也有用,但下一代又卡在157纳米不动了。
何雨柱记得光刻机是从浸没式开始让荷兰的asml崛起。
而且他还记得提出理论的是一个台积电技术员。
但是谁,具体名字叫啥他不知道了,所以只能提供这套理论,让他们实验。
这套理论一开始让倪光南不屑一顾,因为何老板啥也不懂,还以为他开玩笑。
但后来一想,可行性非常的高,在实验过几次后也让倪光南欣喜若狂。
方向是对的,立马有抓着何老板问问东问西。
还以为他很懂呢。
何雨柱懂个屁的光刻机!
瞎白话行,聊到专业的,他一点不懂。
见倪光南又要实验呀,何雨柱赶紧打断,“倪院士,等等,找你有点事。”
“何老板,你什么时候过来的?”倪光南一脸茫然,惊讶问道。
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