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admin 发布于 2023-03-05

中国科学院金属研究所，中国科学院金属研究所材料疲劳与断裂实验室 二维过渡金属碳化物和氮化物MXene被公认为在电子和光电器件中具有重要应用潜力。然而，已报道的MXene薄膜的图案化方法难以兼顾效率、分辨率和与主流硅工艺的兼容性。例如，电子束光刻法可以实现较高的图案分辨率，但效率较...

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